【離子鍍膜法介紹】: 離子鍍膜技術(shù)是在真空條件下,應(yīng)用氣體放電實現(xiàn)鍍膜的,即在真空室中使氣體或蒸發(fā)物質(zhì)電離,在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)離子的轟擊下、同時將蒸發(fā)物或其反應(yīng)產(chǎn)物蒸鍍在基片上。根據(jù)不同膜材的氣化方式和離化方式可分為不同類型的離子鍍膜方式。膜材的氣化方式有電阻加熱、電子束加熱、等離子電子束加熱、高頻感應(yīng)加熱、陰極弧光放電加熱等。氣體分子或原子的離化和激huo方式有:輝光放電型、電子束型、熱電子型、等離子電子束型、多弧型及高真空電弧放電型,以及各種形式的離子源等。不同的蒸發(fā)源與不同的電離或激發(fā)方式可以有多種不同的組合。常用的組合方式有:直流二極型(DCIP)、多陰極型、活性反應(yīng)蒸鍍法(ABE)、空心陰極離子鍍(HCD)、射頻離子鍍(RFIP)等。PVD真空鍍膜機的公司。廣東真空鍍膜設(shè)備圖片
【真空鍍膜設(shè)備的分類】: 這個問題如果在十年之前,其實是很容易回答的,就是兩個大類,物理沉積設(shè)備和化學(xué)沉積設(shè)備?,F(xiàn)在這樣回答也是沒錯的,但現(xiàn)在再這樣回答就沒辦法把事情說清楚了,所以從應(yīng)用領(lǐng)域上可以分成以下幾類: 傳統(tǒng)光學(xué)器件(鏡片,濾光片)所用的鍍膜設(shè)備:單腔體或多腔體蒸發(fā)式鍍膜設(shè)備,濺射式鍍膜設(shè)備。 新材料領(lǐng)域的柔性設(shè)備:卷對卷柔性鍍膜設(shè)備。 光通訊行業(yè):離子束濺射鍍膜設(shè)備。 半導(dǎo)體及相似工藝:化學(xué)氣相沉積設(shè)備。 功能膜:多弧離子鍍設(shè)備,濺射設(shè)備,蒸發(fā)設(shè)備 玻璃工藝:濺射式連續(xù)線 其余的就得歸到“工藝定制設(shè)備”這個范圍里面了,例如車燈鍍膜設(shè)備,太陽能的共蒸發(fā)設(shè)備,光纖鍍膜設(shè)備,太陽能管設(shè)備等等河北真空鍍膜設(shè)備裝置光學(xué)真空鍍膜設(shè)備制造商。
【光譜分光不良的補救(補色)之其他情況】: 分光不良分為二種情況:一是全部膜系鍍制完成后,經(jīng)測試分光不良,此類不良主要按六節(jié)所述方法處理,一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通濾光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷(包括發(fā)現(xiàn)錯誤中斷)造成的分光不良,一般都可以通過后續(xù)努力補救。后續(xù)方法正確,補救成功率比較高。 中斷的原因形式之其他情況: 對于用錯程序,錯誤操作(預(yù)熔未關(guān)閉擋板等)人為中斷需要補救的;以及反光膜、濾光膜鍍后需要補救的情況處理方案: 模擬:將實測分光數(shù)據(jù)輸入計算機膜系設(shè)計程序的優(yōu)化目標值。通過計算機模擬(一般是Zui后一層的膜厚確認),找到與實現(xiàn)測試值結(jié)果相應(yīng)的膜系數(shù)據(jù)。 優(yōu)化:根據(jù)模擬得到的膜系數(shù)據(jù),輸入產(chǎn)品要求的優(yōu)化目標值,通過加層、優(yōu)化后續(xù)膜層的方法,重新優(yōu)化設(shè)計一個補救膜系。 試鍍:確認、完善補救膜系效果 補救鍍:完成補救工作。
【真空鍍膜真空的基本概念】: 真空的劃分: 粗真空 760Torr~10E&3Torr 高真空 10E&4Torr~10E&8Torr 超高真空 10E&9~10E&12 Torr 極高真空 <10E&12Torr 流導(dǎo)(導(dǎo)通量):表示真空管道通過氣體的能力,單位為升/秒(L/S)。一般情況下,管道越短,直徑越大,表面越光滑,越直的管道流導(dǎo)也越大。 流量:單位時間內(nèi)流過任意截面的氣體量,單位為Torr·L/s或Pa·L/s。 抽氣速率:在一定的壓強和溫度下,單位時間內(nèi)由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡稱抽速。單位一般為L/S或m3/hr或CFM。 極限真空:真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。真空鍍膜設(shè)備技術(shù)教程。
【離子鍍的歷史】: 真空離子鍍膜技術(shù)是近幾十年才發(fā)展起來的一種新的鍍膜技術(shù)。在離子鍍技術(shù)興起的40多年來取得了巨大的進步,我國也有將近30多年的離子鍍研究進程。 【離子鍍的原理】: 蒸發(fā)物質(zhì)的分子被電子撞擊后沉積在固體表面稱為離子鍍。蒸發(fā)源接陽極,工件接陰極,當通以三至五千伏高壓直流電以后,蒸發(fā)源與工件之間產(chǎn)生輝光放電。由于 真空罩內(nèi)充有惰性氬氣,在放電電場作用下部分氬氣被電離,從而在陰極工件周圍形成一等離子暗區(qū)。帶正電荷的氬離子受陰極負高壓的吸引,猛烈地轟擊工件表 面,致使工件表層粒子和臟物被轟濺拋出,從而使工件待鍍表面得到了充分的離子轟擊清洗。隨后,接通蒸發(fā)源交流電源,蒸發(fā)料粒子熔化蒸發(fā),進入輝光放電區(qū)并 被電離。帶正電荷的蒸發(fā)料離子,在陰極吸引下,隨同氬離子一同沖向工件,當拋鍍于工件表面上的蒸發(fā)料離子超過濺失離子的數(shù)量時,則逐漸堆積形成一層牢固粘 附于工件表面的鍍層。 【離子鍍的優(yōu)缺點】: 優(yōu)點:膜層附著力好,膜層致密,具有繞度性能,能在形狀復(fù)雜的零件表面鍍膜。 缺點:離子鍍的應(yīng)用范圍不廣;膜與基體間存在較寬的過渡界面。會有氣體分子吸附。真空鍍膜設(shè)備主要用途?廣東光馳真空鍍膜設(shè)備多少錢
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【真空鍍膜產(chǎn)品常見不良分析及改善對策之破邊、炸裂】:一般的鍍膜會對基片加熱,由于基片是裝架在金屬圈、碟內(nèi),由于鏡圈或碟片與鏡片(基片)的熱膨脹系數(shù)不一致,冷卻過程中會造成鏡片的破便或炸裂。有些大鏡片,由于出罩時的溫度較高,與室溫的溫差較大,鏡片的熱應(yīng)力作用造成鏡片炸裂或破邊。有些零件邊緣倒邊的形狀容易造成卡圈而破邊。改善對策:1.夾具(鏡圈、碟片)的設(shè)計,在尺寸配合上要合理,充分考慮制造誤差帶來的影響。2.注意鏡圈、碟片的變形,已經(jīng)變形的夾具不能使用。3.選用合適的夾具才來哦(非導(dǎo)磁材料、不生銹、耐高溫不變性),不銹鋼較為理想(熱變形系數(shù)小),就是加工難度大,價格貴。4.對于大鏡片應(yīng)降低出罩時的溫度,減少溫差,防止炸裂。5.如果時鏡圈,可以考慮在鏡圈上開槽,作為緩沖。廣東真空鍍膜設(shè)備圖片