緩沖氧化物蝕刻劑(BOE)是一種用于微細加工的液體腐蝕劑。它的主要用途是蝕刻二氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)的薄膜。它是氟化銨(NH4F)和氫氟酸(HF)等緩沖液的混合物。濃縮的HF蝕刻二氧化硅的速度太快,不能很好地進行工藝控制,同時也會剝落用于光刻圖案化的光刻膠。BOE6:1is6partsbyvolume40%ammoniumfluorideand1partbyvolume49%HF.應用緩沖氧化物蝕刻劑(BOE)6:1可用于柵極光刻(gatephotolithography)的AlGaN/GaN基高電子遷移率晶體管的氧化物去除。它可用于緩沖氧化物蝕刻劑法,制造微型生物芯片。BOE蝕刻液公司的聯(lián)系方式。山東工業(yè)級BOE蝕刻液推薦廠家
三氯化鐵蝕刻液在印制電路、電子和金屬精飾等工業(yè)中被采用,一般用來蝕刻銅、銅合金、不銹鋼、鐵及鋅、鋁等。雖然近些年來越來越要求再生容易,更加環(huán)保的蝕刻液,但由于三氯化鐵蝕刻液它的工藝穩(wěn)定,操作方便,價格便宜,因此還仍然被廣大蝕刻加工企事業(yè)單位采用。三氯化鐵蝕刻液適用于網(wǎng)印抗蝕印料、液體感光膠、干膜、鍍金抗蝕層等抗蝕層的印制板的蝕刻。(但不適用于鎳、錫、錫-鉛合金等抗蝕層)1.蝕刻時的主要化學反應三氯化鐵蝕刻液對銅箔的蝕刻是一個氧化-還原過程。在銅表面Fe3+使銅氧化成氯化亞銅。同時Fe3+被還原成Fe2+。FeCl3+Cu→FeCl2+CuClCuCl具有還原性,可以和FeCl3進一步發(fā)生反應生成氯化銅。FeCl3+CuCl→FeCl2+CuCl2Cu2+具有氧化性,與銅發(fā)生氧化反應:CuCl2+Cu→2CuCl所以,F(xiàn)eCl3蝕刻液對Cu的蝕刻時靠Fe3+和Cu2+共同完成的。其中Fe3+的蝕刻速率快,蝕刻質量好;而Cu2+的蝕刻速率慢,蝕刻質量差。新配制的蝕刻液中只有Fe3+,所以蝕刻速率較快。但是隨著蝕刻反應的進行,F(xiàn)e3+不斷消耗,而Cu2+不斷增加。當Fe3+消耗掉35%時,Cu2+已增加到相當大的濃度,這時Fe3+和Cu2+對Cu的蝕刻量幾乎相等;當Fe3+消耗掉50%時。江蘇工業(yè)級BOE蝕刻液廠家現(xiàn)貨蘇州口碑好的BOE蝕刻液公司。
微蝕刻液循環(huán)再生設備在使用中不但使微蝕刻工序基本實現(xiàn)污染零排放,并產(chǎn)出純度高、價值高的電解金屬銅。 一、微蝕液包括過硫酸鈉/硫酸體系和雙氧水/硫酸體系,在近幾年的運用在PCB之表面處理制程,例如:沉銅(PTH)制程,電鍍制程、內層前處理、綠油前處理、OSP處理等生產(chǎn)線。 我們公司目前對過硫酸鈉/硫酸和雙氧水/硫酸兩種體系的微蝕工序研發(fā)設計了不同的循環(huán)再生設備。 無論是過硫酸鈉/硫酸體系還是雙氧水/硫酸體系,我司設備均可把飽和微蝕液處理再生后,返回客戶生產(chǎn)線繼續(xù)使用,回用時,不改變客戶原生產(chǎn)工藝參數(shù);在運行我們公司設備時可不停機亦可更換藥水,從而達到穩(wěn)定生產(chǎn)的目的。
鋁蝕刻液生產(chǎn)設備,包括混合罐、過濾器和數(shù)個小型的儲存罐,混合罐通過液管與過濾器連接,過濾器的出液口處安裝有氣動升降式出液管,每個儲存罐的進液口和出液口中安裝有一只單向液動閥,過濾器的出液管自動下行插入儲存罐的進液口中,將過濾后的鋁蝕刻液注入儲存罐內暫存。請參閱圖1,儲存罐10固定在一輛液壓升降式拖車20的頂部,在過濾器的下方設置地磅30,載有空儲存罐的拖車置于地磅上方,過濾器的出液管自動下行插入儲存罐的進液口中,當?shù)匕跛鶞y得的重量達到系統(tǒng)預設重量時,過濾器的出液管自動上行離開儲存罐。將裝滿的儲存罐從鋁蝕刻液生產(chǎn)車間移動至自動灌裝車間中,將灌裝頭的快速接頭插入儲存罐的出液口中便可將儲存罐內的鋁蝕刻液分裝。拖車的底部具有滾輪21,即使?jié)L輪帶有剎車,也很難保證拖車在地磅頂部不移動。在地磅的頂部平臺中設置有兩條卡塊40,卡塊與平臺之間形成一插槽,在地磅的頂部設置有包括氣缸50和壓緊塊60的氣動夾緊機構,壓緊塊位于插槽中,氣缸的伸縮桿與壓緊塊固連。拖車的邊緣沿插槽插入后,氣缸帶動壓緊塊下行將拖車緊緊壓在地磅的頂部。BOE蝕刻液蝕刻后如何判斷好壞 ?
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